Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing - symposium held April 13-15, 1993, San Francisco, California, U.S.A
- Författare
- (Editors: Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | cop. 1993 | USA, Pittsburgh, PA | xi, 518 sidor. ill. |